Az anomália-észlelési technika, az Isolation Forest, egy olyan módszer, amely segít a hibák felismerésében azáltal, hogy véletlenszerűen választott jellemzőkkel elválasztja az adatokat és az anomáliákat. Az algoritmus alapja, hogy egy izoláló fákból álló ensemble-t hoz létre, melyek azt mérik, milyen egyszerű az anomáliák szétválasztása a normál adatokatól. Az anomáliák azonosításához az algoritmus azokat az adatokat keres, amelyek könnyen elválaszthatók a többi adatponttól. Az izolációs erdő különösen hatékony a magas dimenziós adatok kezelésében, mivel nem igényel előzetes feltevéseket az adatok eloszlásáról, és jól működik nagy adatállományokkal.

Például egy félvezető gyártási környezetben az Isolation Forest képes felismerni hibás gyártási tételeket úgy, hogy azokat az adatpontokat választja ki, amelyek könnyen elkülöníthetők a normál adatokatól. Ez a technika különösen hasznos lehet azokat az eseteket felismerni, amikor egy gyártási hiba csak egy-két adatra hatással van, míg a többi adat normális marad. Az ilyen típusú hibák gyors észlelése segíthet a gyártási folyamatok hatékonyságának növelésében és a selejt csökkentésében.

A hibrid megközelítések egyre fontosabb szerepet játszanak a hibák felismerésében, mivel különböző módszereket kombinálnak a hatékonyság maximalizálása érdekében. A gépi tanulási algoritmusokat például statisztikai módszerekkel kombinálva pontosabb és megbízhatóbb hibafelismerést érhetünk el. A hibrid módszerek előnye, hogy az egyes módszerek gyengeségeit ellensúlyozhatják egymás erősségei, ugyanakkor a kombinált módszerek gyakran bonyolultabb beállításokat és implementációkat igényelnek. A gépi tanulási algoritmusok képesek az összetett mintázatok felismerésére, míg a statisztikai technikák, mint a statisztikai folyamatirányítás (SPC), az alapvető adatfigyelést biztosítják. A hibák és anomáliák észlelése kulcsfontosságú a félvezető gyártásban, ahol a hibák gyors felismerése jelentős mértékben javíthatja a termelési hatékonyságot.

A félvezető gyártási folyamatok hibáinak felismeréséhez elengedhetetlen az adatok alapos megértése és előfeldolgozása. A SECOM adatállomány például rengeteg információt tartalmaz a gyártási folyamatok során, és segíthet a hibák okainak azonosításában. Az adatállomány 1.567 egyedi gyártási tételt tartalmaz, és minden adatpont 591 attribútumot foglal magában, amelyek különféle szenzorok mérési eredményeit és gyártási mutatókat tartalmaznak. A SECOM adatállomány célváltozója bináris, amely -1-et jelöl, ha a tétel sikeresen áthaladt a minőségellenőrzésen, és 1-et, ha nem.

Az adatok előfeldolgozása kulcsfontosságú a hibák felismerésében. Az adatállományban előfordulhatnak hiányzó értékek, illetve olyan jellemzők, amelyek nem járulnak hozzá az eredményekhez, mint például a konstans oszlopok. A hiányzó értékek kezelésére imputálási technikák alkalmazhatók, például az oszlopok átlagának vagy mediánjának használata. Ezen kívül fontos a nulla és NaN (nem szám) értékek kezelése, mivel ezek pontosítást igényelnek, hogy elkerüljük a hibás eredményeket. Az ilyen előfeldolgozási lépések javítják az algoritmusok teljesítményét, és segítenek az adatok tisztításában.

A jellemzők kiválasztása szintén alapvető lépés a gépi tanulásos modellek fejlesztésében. A variancián alapuló jellemzők kiválasztása, mint a VarianceThreshold módszer, segít eltávolítani azokat a jellemzőket, amelyek nem mutatnak elegendő eltérést az adatokban, így nem adnak hozzá értéket a modellhez. Az alacsony varianciájú jellemzők eltávolításával csökkenthető az adatdimenzió, és fokozható a modell hatékonysága.

Fontos megérteni, hogy az adatok előkészítése és feldolgozása nem csupán a hibák felismerését segíti elő, hanem alapot ad a pontosabb predikciók és optimalizálások számára is. Az előfeldolgozási lépések elmulasztása vagy nem megfelelő alkalmazása jelentős mértékben torzíthatja az eredményeket, így a megfelelő adatkezelési módszerek alkalmazása elengedhetetlen. Emellett az adatminták kiegyensúlyozatlansága, ahol például a hibás tételek száma lényegesen kisebb, mint a sikereseké, szintén problémát jelenthet, és speciális technikákat igényelhet a pontosabb előrejelzések érdekében.

Hogyan befolyásolja a mélységi tanulás a félvezető gyártás előrejelző modelljeit?

A mélységi tanulás alkalmazása a félvezető gyártásban történő hozamoptimalizálásban rendkívül fontos, mivel a komplex gyártási folyamatok megértése és előrejelzése új lehetőségeket nyújt a hatékonyság növelésében. A megfelelő előrejelző modellek kifejlesztése és alkalmazása számos tényezőtől függ, amelyeket alaposan mérlegelni kell a legjobb eredmények eléréséhez.

A modell építésének alapja a megfelelő adatgyűjtés és adat-előkészítés. A félvezetőgyártás során különféle érzékelőkből, például hőmérséklet-, nyomás-, áramlásmérők és kémiai koncentrációmérők adataiból származó méréseket rögzítenek. Ezen érzékelők különböző időközönként, akár milliszekundumoktól percekig terjedő időintervallumokban gyűjtik az adatokat. A gyűjtött adatok összegyűjtése és tárolása adatbázisokban, történeti adattárakban és adatfelhőkben történik.

Fontos figyelembe venni a gyártási berendezések által generált logokat is, amelyek az eszközök teljesítményére, karbantartására és működésére vonatkozó adatokat tartalmaznak. Ezen logok formátuma gyakran XML, CSV vagy az adott gyártó által használt egyedi formátum. Az adatok tisztítása az előkészítés egyik kulcsfontosságú része, mivel a nyers logok gyakran zajt, irreleváns információkat vagy hiányos adatokat tartalmazhatnak.

A nyers adatokat alapos előfeldolgozásnak kell alávetni a megfelelő jellemzők kinyeréséhez. Ennek részeként a hiányzó értékek kezelése is elengedhetetlen, amelyet imputálással, törléssel vagy interpolációval végezhetünk el, a hiányzó érték típusától függően. Az adatok zajcsökkentése is fontos, mivel a szenzoradatokban gyakran előfordulhatnak olyan hibák, amelyek befolyásolják a modell teljesítményét.

A szenzoradatok skálázása és normalizálása szintén alapvető fontosságú, mivel ez segít a modellek hatékony tanításában. Az adatok normálása biztosítja, hogy a különböző jellemzők azonos tartományba kerüljenek, ezzel segítve a konvergenciát és javítva az algoritmusok tanulási folyamatát. Az adatdimenziók csökkentése, például a főkomponens-analízis (PCA) alkalmazása, lehetővé teszi, hogy a modell a legrelevánsabb jellemzőkre koncentráljon.

Miután az adatok előkészítése megtörtént, a következő lépés a megfelelő modell kiválasztása és az architektúra megtervezése. A mélységi tanulás területén számos különböző modellarchitektúra létezik, amelyeket különféle típusú problémákhoz alkalmazhatunk. A leggyakrabban alkalmazott modellek közé tartoznak a konvolúciós neurális hálózatok (CNN), visszacsatolt neurális hálózatok (RNN), valamint a transformer alapú modellek.

A megfelelő modell és architektúra kiválasztása után a modell tanítása következik. A modell teljesítményét különböző mérőszámokkal lehet értékelni, mint például pontosság, precizitás, visszahívás, F1 pontszám és középérték abszolút hiba (MAE). A validálási fázis során a modell hiperparamétereit módosítjuk, és a végső modellt a tesztadatokon értékeljük, hogy megbízható előrejelzéseket kapjunk.

A mélységi tanulás különböző alkalmazási területeken, például félvezetőgyártásban, az ipari folyamatok optimalizálásában és hibák előrejelzésében segíthet. A gyártási paraméterek pontos előrejelzése javíthatja a termelési folyamatok hatékonyságát, és csökkentheti a selejt mennyiségét. A gépi tanulási modellek képesek felismerni az összetett összefüggéseket az adatokban, amelyeket az emberi elemzés gyakran nem tud azonosítani.

Az adatok előkészítése és az alkalmazott modellek hatékonysága közvetlenül befolyásolja az előrejelzés pontosságát. A félvezetőgyártás során a gépi tanulási modellek segítségével nemcsak a termelés hatékonyságát növelhetjük, hanem azokat az összefüggéseket is felismerhetjük, amelyek a termékek minőségét befolyásolják.

A sikeres modellképzés és alkalmazás érdekében kulcsfontosságú a megfelelő adatgyűjtés és előfeldolgozás. A gyártási eszközök és szenzorok folyamatos karbantartása, valamint az adatok rendszeres frissítése elengedhetetlen a modellek megbízhatóságának fenntartásához. A gyártási folyamatok és a modell paraméterezése folyamatos finomítást igényel, hogy az előrejelzések minél pontosabbak legyenek.

A gépi tanulás szerepe és alkalmazásai a félvezető iparban

A gépi tanulás (ML) folyamatosan fontos szereplővé válik a félvezető iparban, különösen a tranzisztorok tervezésében és optimalizálásában. A fejlesztések az elmúlt évtizedekben gyors ütemben haladtak, és az iparági szereplők folyamatosan keresnek új módszereket a teljesítmény és a hatékonyság javítására, miközben csökkentik a költségeket és növelik a termelési sebességet.

A félvezetők tervezésében és gyártásában a gépi tanulás alkalmazása különféle szempontok szerint történik. Az algoritmusok segíthetnek a gyártási hibák felismerésében, a félvezető eszközök viselkedésének modellezésében, valamint a különböző anyagok és struktúrák közötti kapcsolat feltérképezésében. Az egyik kulcsfontosságú terület az optimális modellkiválasztás, amely meghatározza a megfelelő gépi tanulási algoritmusokat, mint a mesterséges neurális hálózatok (ANN), a támogatott vektor gépek (SVM), valamint a kémiai és fizikai jellemzők közötti összefüggések megértését.

A félvezető ipar egyik legnagyobb kihívása a bonyolult rendszerek és a nagy mennyiségű adat kezelése. A gépi tanulás képes kezelni ezt a komplexitást azzal, hogy különböző típusú adatokból, például hőmérsékleti, feszültség- és áramparaméterekből tanul, és így segít az optimális paraméterek és készülékformák azonosításában. Emellett fontos szerepe van a prediktív karbantartásban és a hibák előrejelzésében, különösen a félvezető gyártás folyamatában. A gépi tanulási modellek képesek előre jelezni a különböző mechanikai és elektromos hibákat, amelyek elősegítik a gyártási folyamatok optimalizálását.

A modellképzés és a különböző paraméterek finomhangolása szintén kulcsfontosságú a teljesítményjavításban. A gépi tanulás segítségével a félvezetők gyártásának minden szakasza részletesen modellezhető. A legfontosabb adatokat — mint a csatorna doppingolását, a drain és gate feszültséget, valamint a hőmérsékleti változásokat — figyelembe véve az algoritmusok képesek precíz modelleket készíteni, amelyek segítenek az optimális teljesítmény elérésében. Az algoritmusok továbbá lehetővé teszik a különböző félvezető eszközök, például a TFET-ek és MOSFET-ek hatékonyabb alkalmazását az iparban.

Az egyik legfontosabb előrelépés a gépi tanulás terén az optimalizációs technikák alkalmazása, amelyek a legújabb kutatások során egyre inkább dominálják az ipart. Az ilyen típusú modellek nemcsak a félvezetők teljesítményét javítják, hanem az új technológiák, például a nanostrukturált anyagok és a különféle új típusú félvezetők alkalmazását is elősegítik. A nanocavity bioszenzorok tervezésében és a bioszenzorok teljesítményének javításában is egyre nagyobb szerepet kapnak a gépi tanulási algoritmusok.

A gépi tanulás alkalmazásával kapcsolatos legnagyobb kihívás a megfelelő adatgyűjtés és az adatpreprocessing. A helytelenül előkészített adatok vagy a kiegyensúlyozatlan adathalmazok torzíthatják a modellek pontosságát, ezért a fejlesztés során rendkívül fontos a megfelelő adatkezelési és előkészítési lépések alkalmazása. A különböző technikák, mint például a SMOTE (Synthetic Minority Over-sampling Technique) vagy a túlzott mintavétel, különösen fontosak az ipar számára, mivel ezek segítenek a gépi tanulási modellek hatékonyabbá tételében.

Az iparban alkalmazott gépi tanulási modellek folyamatos fejlődése azt jelzi, hogy a jövőben a gépi tanulás és mesterséges intelligencia egyre inkább integrálódik a félvezető gyártásába és optimalizálásába. Az egyik fontos irányvonal a 3D NAND és a DRAM típusú memóriák fejlesztése, ahol a gépi tanulás segíthet az eszközök jellemzőinek és működésének finomhangolásában.

A gépi tanulás terjedésével a félvezető ipar nemcsak új eszközöket és technológiákat fejleszt, hanem a gyártási folyamatok és az ipari alkalmazások minden szintjén a hatékonyság és az optimalizáció iránti igény is egyre nagyobbá válik. A legújabb kutatások és fejlesztések alapján a gépi tanulás alkalmazása a jövőben kulcsszerepet játszik majd a félvezetők tervezésében és gyártásában, és a technológia fejlődése egyre inkább az intelligens és autonóm rendszerek kialakításának irányába mutat.