«Компоненты микросистемной техники»

Наименование

Количество

Специальное оборудование

1

Комплект электропитания ЩЭ (220 В, 5 кВт) в комплекте с УЗО

1

Технические средства обучения и средства для обработки результатов экспериментов

1

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"

2

Специализированная мебель и оргсредства

1

Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для написания мелом и фломастером ДК11Эх750 мм)

1

2

Стол преподавателя

2

3

Стул преподавателя

4

4

Стол лабораторный двухместный на металлокаркасе из труб прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием: пластик

13

5

Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№ 6)

26

6

Шкаф-стеллаж с остекленными дверцами

2

Лабораторные стенды

1

Исследование характеристик полупроводниковых датчиков температуры

1

2

Исследование характеристик тензорезистивного датчика давления мембранного типа

1

3

Исследование характеристик емкостного микроакселерометра

1

4

Исследование датчиков магнитного поля

1

5

Исследование характеристик микромеханического актюатора емкостного типа

1

6

Исследование характеристик пьезоэлектрическкого микроактюатора

1

7

Исследование характеристик микроэлектромеханического реле

1

8

Исследование работы микронасоса

1

Cтандартные измерительные приборы

1

микроскопы МБС-10

4

2

высоковольтный источник питания УИП-2

2

3

генераторы сигналов низкочастотные Г3-102, Г3-118

4

4

генератор импульсный Г5-15

1

5

вольтметры универсальные В7-16, В7-21

8

6

Двухлучевые осциллографы типа С1-82, С1-93

4

7

мост переменного тока Р589

1

5.8.1.6. Перечень материально-технических средств учебных помещений для проведения лабораторного практикума по дисциплине

«Проектирование микросистем»

Наименование

Количество

Технические средства обучения и средства для обработки результатов экспериментов

1

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / Sound саrd – 16 bit + tv / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17" , сетевые адаптеры, СКС, модем

9

Специализированная мебель и оргсредства

1

Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для написания мелом и фломастером ДК11Эх750 мм)

1

2

Стол преподавателя

2

3

Стул преподавателя

4

4

Стол лабораторный двухместный на металлокаркасе из труб прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием: пластик

13

5

Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)

26

6

Шкаф-стеллаж с остекленными дверцами

2

5.8.1.7. Перечень материально-технических средств учебных помещений для проведения лабораторного практикума по дисциплине

«Технология микросистем»

Наименование

Количество

Технические средства обучения и средства для обработки результатов экспериментов

1

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / Sound саrd – 16 bit + tv / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"

1

Специализированная мебель и оргсредства

1

Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для написания мелом и фломастером ДК11Эх750 мм)

1

2

Стол преподавателя

2

3

Стул преподавателя

4

4

Стол лабораторный двухместный на металлокаркасе из труб прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием: пластик

13

5

Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)

26

6

Шкаф-стеллаж с остекленными дверцами

2

Лабораторные стенды

1

Технология вакуумного напыления резистивных и проводящих слоев (установка вакуумного напыления)

2

2

Технология нанесение диэлектрических слоев методом реактивного ионно-плазменного распыления (установка магнетронного распыления)

1

3

Технология термического окисления кремния (установка термического окисления)

4

Технолгия диффузии в кремний (диффузионная печь)

1

Технолгия анизотропного травления кремния (травильная ванна)

5

Технология фотолитографии (линия фотолитографии "Лада-125 электроника")

1

6

Технология сборки микросхем (установка контактной сварки УС и ММ-2)

2

Cтандартные измерительные приборы

1

микроскопы МБС-10

7

2

микроскопы МИИ-4

4

5.8.1.8. Перечень материально-технических средств учебных помещений для проведения лабораторного практикума по дисциплине

Из за большого объема этот материал размещен на нескольких страницах:
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27