Требования к материально-техническому обеспечению учебного процесса по направлению подготовки дипломированных специалистов 654100 Электроника и микроэлектроника (стр. 13 )

№

Наименование

Количество

Специальное оборудование

1

Комплект электропитания ЩЭ (220 В, 5 кВт) в комплекте с УЗО

1

2

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"

8

Технические средства обучения и средства для обработки результатов экспериментов

1

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"

2

Специализированная мебель и оргсредства

1

Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для написания мелом и фломастером ДК11Эх750 мм)

1

2

Стол преподавателя

2

3

Стул преподавателя

4

4

Стол лабораторный двухместный на металлокаркасе из труб прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием: пластик

13

5

Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№ 6)

26

6

Шкаф-стеллаж с остекленными дверцами

2

Лабораторные стенды

1

Учебно-вычислительный комплекс для моделирования процессов роста и легирования полупроводниковых монокристаллов и эпитаксиальных монослоев:

10

-

Выращивание и легирование материалов методом вытягивания из расплава (метод Чохральского)

Фронтальный цикл

-

Выращивание и легирование монокристаллов в процессе бестигельной зонной плавки

Фронтальный цикл

-

Получение полупроводниковых структур методом жидкофазной эпитаксии

Фронтальный цикл

-

Закономерности массопереноса при зонной плавке в градиенте температур

Фронтальный цикл

-

Поучение эпитаксиальных слоев методом химического осаждения из паров металлоорганических соединений

Фронтальный цикл

-

Формирование полупроводниковых структур методом молекулярно-пучковой эпитаксии

Фронтальный цикл

№

Наименование

Количество

Специальное оборудование

1

Комплект электропитания ЩЭ (220 В, 5 кВт) в комплекте с УЗО

1

2

Установка вакуумного напыления УВН-71П-1

2

3

Установка магнетронного распыления Оратория-5

1

4

Уустановка термического окисления СДО-125/3-12,0

1

5

Диффузионная печь СДО-125/А

1

6

Линия фотолитографии "Лада-125 электроника"

1

7

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-576

1

8

Установка термокомпрессионной сварки ЭМ-439А

2

9

Установка ультразвуковой сварки УЗП-02

2

Технические средства обучения и средства для обработки результатов экспериментов

1

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / Sound саrd – 16 bit + tv / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"

1

Специализированная мебель и оргсредства

1

Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для написания мелом и фломастером ДК11Эх750 мм)

1

2

Стол преподавателя

2

3

Стул преподавателя

4

4

Стол лабораторный двухместный на металлокаркасе из труб прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием: пластик

13

5

Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)

26

6

Шкаф-стеллаж с остекленными дверцами

2

Лабораторные стенды

1

Установка вакуумного напыления резистивных и проводящих слоев

2

2

Установка для нанесение диэлектрических слоев методом реактивного ионно-плазменного распыления

1

3

Установка термического окисления кремния

1

4

Установка для проведения диффузии примесей в полупроводниковые пластины

1

5

Технологическая линия для проведения процессов фотолитографии

1

6

Установка для сборки микросхем методом контактной сварки

2

Cтандартные измерительные приборы

1

микроскопы МБС-10

6

2

микроскопы МИИ-4

4

№

Наименование

Количество

Специальное оборудование

1

Комплект электропитания ЩЭ (220 В, 5 кВт) в комплекте с УЗО

2

2

Компьютер Pentium III – 600 МГц / ОЗУ - 256 Мб / Video-32 Мб / HDD-20 GB / FDD-3.5"/ CD-ROM-48x / SVGA-17"

2

3

Малогабаритный ав­томатизированный растровый электрон­ный микроскоп.*

2

Специализированная мебель и оргсредства

1

Доска аудиторная на основе стального эмалированного листа для написания мелом и фломастером ДК11Эх750 мм)

1

2

Стол преподавателя

2

3

Стул преподавателя

4

4

Стол лабораторный двухместный на металлокаркасе из труб прямоугольного, квадратного или круглого профиля с покрытием: пластик

13

5

Стулья аудиторные с сиденьями и спинками из фанеры (№6)

26

6

Шкаф-стеллаж с остекленными дверцами

2

Лабораторные стенды

1.

Установка для определения концентрации носителей заряда и концентрационных профилей ионизированных примесей в полупроводниковых структурах Вольт-фарадным методом.

2

2.

Стенд для измерение удельного сопро­тивления полупроводниковых материалов и структур четырех-ондовым методом.

2

3.

Установка для измерения времени жизни не­равновесных носителей заряда в полупроводниках по релакса­ции фотопроводимости и фото­тока диода Шоттки.

2

4.

Стенд для анализа топологии ИМС и изме­рения глубин залегания р-п-переходов методом оптической микроскопии.

2

5.

Установка для комплексного исследования морфологии и микроструктуры поверхности твердых тел с помощью растрового электронного микро­скопа

2

Cтандартные измерительные приборы

1

измеритель LС, R-цифровой Е7-12

2

2

Из­меритель у дельного сопро­тивления полупроводни­ковых материалов ИУС-3 (цифровой).

2

3

Генератор импульсов Г5-60 с импульсным светодиодом АЛ-123

2

4

Осциллограф С 1-93.

2

5

Микроскоп «Биолам М» или аналогич­ный.

2