Interferometri är en exakt metod för att mäta geometriska dimensioner och ytor med hjälp av ljus. I den här metoden spelar atmosfäriska förhållanden och materialens optiska egenskaper en avgörande roll. Det är viktigt att förstå de olika källorna till osäkerhet och de korrigeringar som behövs för att säkerställa noggranna mätningar. En av de största källorna till osäkerhet i interferometriska mätningar är atmosfärens inverkan på ljusets hastighet och densitet. Dessutom påverkas mätningarna av materialets ytstruktur och dess elektromagnetiska egenskaper. För att få en mer noggrann bild är det avgörande att hantera dessa faktorer noggrant.

En viktig aspekt som behöver beaktas är effekten av atmosfäriska förhållanden, såsom temperatur, tryck och luftfuktighet. Dessa faktorer påverkar ljusets hastighet och refraktionsindex, vilket i sin tur kan leda till felaktigheter i längdmätningar. Vid interferometriska mätningar av gage-block eller andra exakt definierade objekt är noggrannheten i mätningarna beroende av korrekt atmosfärisk korrigering. Om mätningarna inte justeras för dessa effekter kan fel på upp till några mikrometer uppstå, vilket kan göra resultatet användbart eller helt oanvändbart beroende på noggrannheten.

Vid interferometri används olika metoder för att hantera de optiska felen. En sådan metod är att använda en så kallad "aperture correction", där effekten av ljuskällans storlek beaktas. Detta är särskilt viktigt när ljuskällan inte är en punktkälla, utan har en viss storlek. Denna korrigering kan utföras antingen genom att estimera ljusets interferensfransar visuellt eller genom att använda en fasstegringsmetod, vilket gör det möjligt att beräkna fransarnas position med hög noggrannhet.

När det gäller mätning av ytor på mikroskopisk nivå spelar interferometri en central roll. Mikroskopiska interferometriska mätningar används ofta för att studera små ytor med stor noggrannhet, vanligtvis på skalor från några millimeter till omkring 50 mikrometer. För att mäta dessa ytor används mikroskopobjektiv som integrerar interferometern i objektivet. Objektivets numeriska aperture (NA) är en viktig parameter som definierar ljusstrålens konvergens, vilket påverkar den laterala upplösningen och fokuseringsdjupet. Ju högre NA, desto mer detaljerad blir mätningen.

Tre huvudsakliga typer av interferometriobjektiv används inom mikroskopi: Michelson-, Mirau- och Linnik-typ. Michelson-objektiv använder en kubisk beam-splitter, vilket gör det möjligt att dela upp ljusstrålen i två delar. Denna typ är begränsad till låga NA och ger ett relativt stort synfält. Mirau-objektivet använder en semitransparent platta för att dela upp ljusstrålen, vilket gör att optiska aberrationer minskas och kan användas för högre förstoringar och högre NA-värden. Linnik-objektivet delar upp ljusstrålen innan den går in i objektivet, vilket gör att det inte finns några optiska störningar i mätstrålen.

Vid mätningar med fasförskjutning interferometri, särskilt för mikroskopi, är det viktigt att justera ljusvåglängden för objektivets numeriska aperture. Ljusvåglängden kan inte användas direkt som referens vid mätningar med konvergenta optiska strålar, vilket kräver en justering baserad på det så kallade "obliquity factor". För objektiv med låg NA är denna justering nära 1, men för objektiv med högre NA kan faktorn vara upp till 1,10.

En annan viktig aspekt som måste beaktas vid optiska mätningar är fenomenet med den "elektromagnetiska ytan". Detta innebär att den yta som mäts optiskt kan skilja sig från den mekaniska ytan som skulle uppmätas med en fysisk sond. Detta beror på att elektromagnetisk strålning inte alltid reflekteras helt vid materialets yta. För metaller, där k är betydande, kan detta orsaka en fasförskjutning vid reflektion, vilket påverkar den uppmätta höjden på ytan. För icke-dielectriska ytor (k = 0) sker en π-fasförändring vid normal infallsvinkel, vilket innebär att det finns en fasskillnad mellan den inkommande och den reflekterade strålen. Detta kan leda till fel i mätningen, särskilt när olika material finns på den mätta ytan.

Det är också viktigt att förstå att fasskiftseffekter kan ha en märkbar inverkan på mätningar i interferometri. För exempelvis en kromstege på ett glasunderlag kan skillnader i fasskift på reflektion leda till ett fel på upp till 20 nanometer vid en våglängd på 633 nm. Dessa fel kan korrigeras, men det är avgörande att ta hänsyn till dessa effekter när man mäter ytor som består av olika material.

För att göra dessa mätningar mer exakta och pålitliga är det avgörande att förstå och ta hänsyn till de optiska och elektromagnetiska egenskaperna hos materialet som mäts, samt att använda lämpliga korrigeringar för fasskift och andra optiska fel.

Vad påverkar noggrannheten i koordinatmätmaskiner (CMM)?

I koordinatmätmaskiner (CMM), som används för att mäta objekt i tre dimensioner, är flera faktorer avgörande för noggrannheten och tillförlitligheten i resultaten. Det är inte bara de fysiska egenskaperna hos själva maskinen, utan också de val av material och mätmetoder som påverkar resultatet. En av de mest intressanta delarna av CMM-teknologin är användningen av luftlager för att styra rörelsen av maskinens komponenter. Dessa system, som tillåter exakt rörelse med minimal friktion, används i kombination med raka guider av granit eller keramiska material.

Granit och keramik har blivit vanliga val för att bygga dessa guider på grund av deras förmåga att bearbetas till hög precision med nuvarande verktyg. De erbjuder fördelar jämfört med stål, som korrosionsbeständighet, låg specifik massa och en låg termisk expansionskoefficient. En potentiell nackdel är deras sämre termiska ledningsförmåga, vilket kan leda till temperaturgradienter och därmed formförändringar om maskinen inte har tillräcklig tid för att stabilisera sig termiskt, eller om laboratoriet inte är temperaturkontrollerat. Detta är en faktor som måste beaktas när man planerar för noggranna mätningar i en industriell miljö.

Mätsystemen i CMM-maskiner är ofta linjära enkodersystem, som har en hög noggrannhet med avvikelser på bara några mikrometer per meter, och en upplösning på mellan 0,1 μm och 0,5 μm. Dessa system är känsliga för föroreningar och kräver noggrant skydd under installation och drift, särskilt i industriella miljöer där föroreningar kan vara vanliga. För de mest precisa maskinerna, särskilt i kontrollerade laboratoriemiljöer, används även förskjutnings-laserinterferometrar, som erbjuder ännu högre noggrannhet.

Probing-systemet, som används för att kontakta och mäta objektet, kan också påverka noggrannheten. Vanligtvis används mekaniska beröringsprober för deras hållbarhet och pålitlighet. Dessa kan vara antingen styva, dynamiska beröringsprober eller mer avancerade system som mäter med högre precision genom att konstant läsa av mätvärden medan maskinen fortfarande är i rörelse. Denna typ av prob används för att "skanna" objektets yta, vilket gör det möjligt att definiera hela konturer av objektet.

Det finns olika typer av beröringsprober som används i CMM, beroende på mätbehovet. Rigid mekaniska prober används vanligen för manuell mätning, där en viss mätkraft appliceras på objektet för att samla in data. Touch-trigger prober, å andra sidan, arbetar elektroniskt och triggas när de berör objektet, vilket gör det möjligt för maskinen att stanna och läsa av mätvärden på rätt tidpunkt. En tredje typ, statiska beröringsprober, använder induktiva mätprinciper för att noggrant bestämma positionen för probens spetspunkter i tre dimensioner.

För mer avancerade system kan motoriserade huvudsystem användas, där probens rörelse kan styras på flera axlar för att snabbt och exakt mäta objektets geometri. Dessa system är ofta använda i komplexa mätapplikationer där hög precision och snabb mätning krävs, som i industriell produktion där tidsfaktorn är viktig.

I dagens industriella mätning används vanligtvis en form av datorstödd styrning (CNC) för att förprogrammera mätcykler. Detta gör att maskinen kan upprepa mätningarna med hög precision, vilket sparar tid och ökar tillförlitligheten. Före varje mätning måste probens diameter och andra egenskaper som böjning vid olika mätkrafter fastställas för att säkerställa korrekt kalibrering och noggrannhet.

För att verifiera och kalibrera probsystemet används ofta referenskulor av keramisk eller annan specifik material. ISO-standarder, som till exempel ISO 10360, definierar specifika mätpunkter som måste användas för att kvalificera probsystemen och säkerställa att de uppfyller nödvändiga krav på noggrannhet.

Det är också viktigt att notera att även om olika probtyper erbjuder olika fördelar, måste alla probsystem kalibreras regelbundet för att säkerställa maximal noggrannhet. För att effektivt använda CMM och uppnå de mest exakta resultaten måste operatören ha en god förståelse för både maskinens mekaniska och elektroniska komponenter samt hur externa faktorer som temperatur och föroreningar kan påverka mätresultaten. Den här nivån av förståelse och kontroll över både de tekniska och miljömässiga faktorerna är nödvändig för att uppnå de mest precisa mätningarna.

Hur man tillämpar minstakvadratsmetoden för att passa geometriska objekt och ytjämnhet

Minstakvadratsmetoden är ett grundläggande verktyg inom matematisk modellering och geometri för att hitta den bästa passformen av data till en given matematisk modell. I detta sammanhang används metoden för att anpassa olika geometriska objekt som linjer, plan, sfärer och cirklar till uppmätta data, med syftet att minimera skillnaderna mellan de teoretiskt förväntade värdena och de faktiska mätvärdena.

För att börja med att anpassa en linje i tre dimensioner till ett datamängd, överväger man först den så kallade viktade χ²-värdet. Om det viktade χ²-värdet inte är signifikant, kan man anta att linjens rakhet är bättre än vad mätmetoden kan avgöra. När man går vidare till mer komplexa geometriska former, som plan och sfärer, behöver man tillämpa liknande metoder men med justeringar för att hantera ytterligare dimensioner.

För att passa ett plan till mätpunkter, där z(x, y) representerar höjden på en punkt i ett tredimensionellt koordinatsystem, används den minstakvadratsformeln för att bestämma de bästa koefficienterna som minimerar den totala kvadratiska summan av avvikelserna mellan de uppmätta z-värdena och de teoretiska värdena som beräknas med hjälp av x- och y-koordinater. Den matematiska formeln för detta ges som:

Q2=i=1n(zia0a1xia2yi)2Q^2 = \sum_{i=1}^{n} (z_i - a_0 - a_1 x_i - a_2 y_i)^2

Genom att sätta derivatorna av denna funktion lika med noll, erhåller man ett system av linjära ekvationer som kan lösas för att få fram värdena för a0a_0, a1a_1 och a2a_2. Denna metod för att passa ett plan till mätdata är standard för många tillämpningar inom till exempel materialtestning och precisionsteknik.

När det gäller mer komplexa former som sfärer eller cirklar, kan minstakvadratsmetoden anpassas för att minimera avvikelser mellan mätpunkterna och en hypotetisk sfär. En sfär kan beskrivas av följande ekvation:

(xx0)2+(yy0)2+(zz0)2=R2(x - x_0)^2 + (y - y_0)^2 + (z - z_0)^2 = R^2

För att anpassa en sfär till en uppsättning av mätpunkter, definieras en felterm Q², som representerar summan av de kvadratiska avvikelserna mellan de uppmätta koordinaterna och sfärens teoretiska modell. Problemet kan lösas genom att minimera denna felterm, vilket resulterar i bästa uppskattning för centrum och radie.

Vid användning av elektroniska nivåer för att mäta ytjämnhet på en yta, som exempelvis en ytplatta, används en liknande metod för att bestämma höjdskillnader mellan punkterna på ett rutnät. Här används en kvadratisk konfiguration för att bestämma höjdskillnader mellan uppmätta noder i förhållande till gravitationsvektorn. Feltermen Q² kan formuleras för att mäta dessa skillnader och för att genomföra en anpassning som ger den bästa approximationen av ytan.

Metoden kan dessutom anpassas för att hitta den så kallade "minimala zonen", där man istället för att minimera summan av kvadratiska avvikelser, minimerar skillnaden mellan det största och minsta värdet av avvikelserna från en förväntad modell. Detta kan vara särskilt användbart för att undvika lokala minima i optimeringsproblem som kan uppstå vid användning av standard minstakvadratsmetoder.

Vid anpassning av komplexa geometrier och ytor, som när man arbetar med sfärer eller planer, kan det vara nödvändigt att använda numeriska metoder för att iterativt förbättra passformen. Till exempel kan en initial lösning beräknas med hjälp av minstakvadratsmetoden, och sedan kan ytterligare transformationer appliceras på de uppmätta koordinaterna för att ta hänsyn till rotationer och andra icke-linjära transformationer.

Det är också viktigt att förstå de praktiska tillämpningarna av dessa metoder. I verkliga scenarier, som till exempel i tillverkningsindustrin, är det inte alltid möjligt att mäta varje punkt exakt, vilket innebär att noggrant valda metoder för att hantera osäkerheter och fel måste tillämpas. Minstakvadratsmetoden är ett mycket användbart verktyg, men det är viktigt att förstå dess begränsningar, särskilt när man arbetar med mycket stora datamängder eller mycket små geometriska segment, där numeriska instabiliteter kan uppstå.

För att göra metoderna robustare, kan det vara nödvändigt att kombinera minstakvadratsanpassningar med andra tekniker som till exempel minimering av avvikelser över ett specifikt intervall eller användning av robusta estimat för att hantera extremvärden eller outliers i mätdata.