Inom dimensionell metrologi är det grundläggande att förstå hur olika teknologier och metoder används för att uppnå extremt noggranna mätningar av längd. Bland de mest precisa metoderna finner vi användningen av stabiliserade lasrar samt sekundära metoder som baseras på kristallgalleravstånd. Dessa tekniker spelar en avgörande roll i utvecklingen och kalibreringen av mätinstrument som används för att mäta avstånd och dimensioner med hög precision, inklusive de som används i nanometrologi.
Ett exempel på en ofta använd metod är den jodstabiliserade lasern. Denna typ av laser, som använder ett jodabsorptionssystem för att stabilisera laserfrekvensen, har en hög noggrannhet när det gäller frekvensbestämning. När en sådan laser stabiliseras med hjälp av en tredje harmonikdetektionsteknik kan man uppnå en relativ standardosäkerhet på 2,1 × 10⁻¹¹, vilket innebär en hög grad av precision i mätningarna. Denna metod är särskilt användbar vid kalibrering av laserfrekvenser för interferometriska system där laserljus används för att mäta förskjutningar och avstånd. Lasern arbetar på ett sätt där en piezoelektrisk transduktor modulerar spegeln i laserkaviteten och därmed justerar laserfrekvensen för att matcha ett specifikt absorptionsdip i jodets spektrum. Denna stabilisering gör att lasern kan användas som en primär standard för att kalibrera andra laserkällor som används i interferometri.
En annan metod som används i dimensionell metrologi är spektrallampor, som exempelvis de som är baserade på 114Cd. Denna metod förlitar sig på den röda spektrallinjen från denna specifika isotop som har en definierad vakuumlängd och osäkerhet. Den används för att kalibrera interferometriska mätningar i instrument som gage-block interferometrar och inom spektroskopi. Denna metod har en högre osäkerhet än den jodstabiliserade lasern, men är ändå användbar för många tillämpningar där extrem precision inte är lika kritisk.
För applikationer där stabilisering inte är nödvändig, som i fallet med icke-stabiliserade He-Ne lasrar, där osäkerheten kan vara så hög som 1,5 × 10⁻⁶, kan man fortfarande genomföra interferometriska mätningar med tillräcklig noggrannhet för vissa typer av instrument. För dessa användningsområden är det ofta inte nödvändigt att kalibrera lasern, då den höga osäkerheten inte påverkar mätresultaten signifikant. Detta gäller till exempel i Fizeau-flatthetsinterferometrar, där det är gränserna för intervallräkning och interpolation som avgör noggrannheten.
I nanometrologi, där mätningarna ofta utförs på submikrometernivå, finns det en ökande användning av sekundära metoder för att realisera meterdefinitionen. En sådan metod involverar användningen av kisel {220}-galleravstånd som en referens för mätningar. Genom att använda röntgeninterferometri och andra tekniker kan man mäta mycket små förskjutningar med en noggrannhet på ned till några picometer. Denna teknik har använts för att utveckla nya kalibreringsstandarder för transmissionselektronmikroskop (TEM), där man använder sig av det synliga galleravståndet för att bestämma storleken på nanostrukturer och linjebredd i prover. För att uppnå denna höga precision måste man ta hänsyn till eventuella föroreningar i kristallen, vilket kan påverka mätningarna.
Temperaturens inverkan på längdmätningar är också en viktig faktor. Eftersom material expanderar eller krymper beroende på temperatur är det nödvändigt att definiera en standardtemperatur för mätningar av objekt. Den internationella standarden för detta är 20 °C, vilket har sitt ursprung i ISO 1 och har bekräftats av ISO 1:2022. Vid temperaturer som avviker från denna referens, måste temperaturkompensation göras för att justera mätningarna och osäkerheten måste beaktas. För detta ändamål används ofta en linjär temperaturberoende funktion, där materialets termiska utvidgningskoefficient (CTE) är känd. För exempelvis stål, som har en CTE på cirka 10⁻⁵ K⁻¹, kan man uppskatta att ett stålobjekt expanderar cirka 10 µm per meter per grader Celsius förändring.
I dimensionell metrologi, särskilt vid mätningar på mycket små skala, är det viktigt att förstå inte bara de tekniska metoder som används för att definiera och mäta längd, utan också de osäkerheter som är inbyggda i dessa processer. Även om de tekniska detaljerna kring användningen av stabiliserade lasrar eller kiselgaller som sekundära metoder kan verka komplexa, handlar det om att hantera och förstå de systematiska fel och osäkerheter som påverkar precisionen i varje mätning.
Hur temperaturpåverkan och mekaniska egenskaper påverkar dimensionella mätningar
Vid dimensionella mätningar är det avgörande att förstå hur temperatur och materialets egenskaper kan påverka de resultat som erhålls. En av de centrala faktorerna i detta sammanhang är materialets linjära termiska expansion, som beskriver hur materialets längd förändras med temperatur. För att säkerställa noggranna mätningar måste både objektet som mäts och mätinstrumentet vara korrekt kalibrerade och temperaturkompenserade.
Temperaturens inverkan på en mätning beror på skillnader i materialets linjära expansionskoefficient (CTE) och temperaturförändringar mellan objektet och mätinstrumentet. Om temperaturen på objektet och referensskalan är olika kan resultatet bli felaktigt om inte rätt kompensation görs. Ett exempel på detta är när ett objekt, som har en viss temperatur T, mäts med en linjär skala, som har en annan temperatur T, vilket kan leda till en felaktig längdmätning.
När en mätning görs vid 20°C, vilket är den standardtemperaturen vid kalibrering av mätinstrument, måste både objektet och skalan ha samma temperatur. Om detta inte är möjligt, är det fortfarande viktigt att objektet och skalan har samma temperatur vid tidpunkten för mätningen. Detta säkerställer att mätningen är korrekt vid den valda referenstemperaturen, vanligtvis 20°C. Om både objektet och referensskalan har samma linjära expansionskoefficient kan den uppmätta längden direkt återspegla objektets dimension vid 20°C, även om temperaturen skiljer sig något.
Ett typiskt exempel på material som används i dimensionella mätningar är stål, vilket har en linjär expansionskoefficient som gör att mätningar av stålobjekt mot gage-block av samma material vid samma temperatur ger en exakt uppmätt storlek vid 20°C. Denna kalibrering används för att säkerställa att alla mätningar görs på samma referenstemperatur, vilket är avgörande för precisionen.
Det är också viktigt att förstå effekten av referenstryck. Även om detta sällan är relevant i praktiken, är det definierat att längdmätningar sker vid ett tryck på 1013,25 hPa, vilket är standardatmosfärstrycket. Även om förändringar i längd under normala atmosfäriska förhållanden är mycket små och kan ignoreras, är det viktigt att känna till den potentiella effekten av tryck på precisionen i mätningar. Exempelvis kan en stålkropp vara ungefär 2·10–7 gånger längre i vakuum än vid normala atmosfäriska förhållanden.
En annan fundamental aspekt av dimensionella mätningar är Abbe-principen, som formulerades av den tyske fysikern Ernst Karl Abbe 1890. Principen anger att för att undvika parallaxe-fel i mätningar måste mätinstrumentets mätningssystem vara exakt i linje med den linje där objektets förflyttning mäts. Om systemet är felaktigt inriktat kan mätningen bli felaktig, vilket kallas Abbe-fel. Detta fel kan reduceras genom att minska vinkeln eller avståndet mellan objektet och mätinstrumentet, vilket gör att mätningen blir mer exakt.
Om det inte är möjligt att minska detta fel tillräckligt, kan det istället korrigeras genom att mäta vinkeln och avståndet och använda denna information för att justera mätresultatet. En mer avancerad lösning på Abbe-fel finns i Eppenstein-principen, där mätinstrumentet är designat på ett sätt som automatiskt kompenserar för dessa fel. Ett mätinstrument som bygger på denna princip innebär att Abbe-fel elimineras genom att mätsystemets optiska enhet är justerad så att avståndet och vinkeln inte påverkar mätningen.
För att säkerställa att mätningar är så exakta som möjligt måste både mätmetoden och mätinstrumentets design beakta dessa komplexa faktorer. Det innebär att designa mätinstrument som tar hänsyn till både temperaturpåverkan och geometriska fel, samt använda kalibreringsstandarder som är anpassade till de specifika materialens egenskaper.
Förutom temperatur och mekaniska egenskaper är det också viktigt att förstå hur yttre faktorer som vibrationskontroll och instrumentkalibrering påverkar precisionen i mätningarna. Precisionen kan försämras om mätinstrumenten inte är tillräckligt stabila eller om miljön inte är tillräckligt kontrollerad. För bästa möjliga resultat bör mätningar utföras i noggrant reglerade miljöer, där alla externa påverkan minimeras.
Hur mäts osäkerhet i diameter, längd och temperaturvariationer?
Beräkningar av osäkerhet i mätningar är grundläggande för att förstå och tolka resultaten från olika typer av mätutrustning, särskilt när det gäller dimensionala mätningar som exempelvis diametrar och längder. Vid denna typ av mätningar är osäkerhet inte bara ett resultat av själva instrumentets precision utan även av externa faktorer såsom temperaturvariationer och materialens fysikaliska egenskaper. Dessa faktorer kan ha betydande inverkan på mätningens tillförlitlighet och noggrannhet, vilket gör det viktigt att förstå de metoder som används för att beräkna och hantera denna osäkerhet.
När flera mätningar av ett objekt tas, kan den genomsnittliga diametern eller längden beräknas genom att summera alla mätvärden och dela med antalet mätningar. Den grundläggande formeln för att beräkna medelvärdet är:
Där är de individuella mätvärdena och är antalet mätningar. Genom att använda denna metod kan man få fram en uppskattning av det sanna värdet av objektets dimension. Men för att säkerställa att detta värde verkligen är representativt för objektet måste man även beakta osäkerheten i dessa mätningar.
Osäkerheten i ett medelvärde kan beräknas genom att tillämpa den allmänna osäkerhetslagen, där man tar hänsyn till standardavvikelserna för varje mätning och hur de påverkar det sammanlagda resultatet. Om alla mätningar har samma standardavvikelse , kan osäkerheten i det beräknade medelvärdet uttryckas som:
Där är osäkerheten i medelvärdet. Det betyder att genom att ta flera mätningar minskar osäkerheten, vilket gör att resultatet blir mer exakt och pålitligt.
Vid beräkning av osäkerhet i mätningar måste även de specifika instrumentens karaktäristika beaktas. Om man exempelvis använder en laserinterferometer för att mäta längd, och om instrumentet inte är korrigerat för termisk expansion, kan osäkerheten i längdresultatet bero på temperaturvariationer i omgivningen. Om temperaturen inte är konstant, kan objektets dimensioner förändras beroende på materialets termiska expansionskoefficient, vilket leder till en ytterligare osäkerhet.
För att hantera denna typ av osäkerhet måste man använda specifika modeller som beskriver hur temperaturvariationer påverkar objektets dimensioner. Om exempelvis en gageblock mäts vid en temperatur , och den faktiska längden vid 20 °C krävs, kan detta korrigeras med hjälp av en termisk expansionsmodell:
Där är längden vid 20 °C, är materialets termiska expansionskoefficient, och är referenstemperaturen. Genom att använda denna modell kan man beräkna hur mycket längden förändras vid olika temperaturer och därmed bestämma den osäkerhet som orsakats av temperaturfluktuationer.
Därefter kan man använda osäkerhetsbudgetar för att kvantifiera den totala osäkerheten i mätningen. Dessa budgetar tar hänsyn till alla källor till osäkerhet, inklusive instrumentets upplösning, temperaturpåverkan, och eventuella fluktuationer i mätprocessen. För att säkerställa noggrannheten i den slutliga beräkningen används en kombination av matematiska modeller och experimentella data, inklusive Monte Carlo-simuleringar för att uppskatta den 95 % konfidensintervall som beskriver osäkerheten.
Ett annat exempel på osäkerhetshantering kan ses i mätningen av en referensbollens diameter från olika laboratorier. I sådana fall beräknas den viktade medelvärdet av mätresultaten från alla laboratorier, och standardosäkerheten beräknas därefter. Denna metod kan användas för att identifiera felaktiga mätningar eller för att jämföra resultaten mellan olika laboratorier, vilket gör det möjligt att dra slutsatser om kalibreringens tillförlitlighet och mätinstrumentens precision.
För att bättre förstå och tillämpa metoderna för osäkerhetsberäkning är det avgörande att överväga alla källor till osäkerhet och förstå deras inverkan på det slutliga resultatet. När man beräknar medelvärden och osäkerheter måste man också ta hänsyn till att de olika osäkerhetskomponenterna kan samverka och ge upphov till mer komplexa effektmål. Genom att noggrant och systematiskt hantera osäkerheten kan man förbättra både mätprecisionen och tillförlitligheten i alla typer av dimensionala mätningar.
Hur mätning av förskjutning med hjälp av interferometri fungerar och dess tillämpningar i dimensionell metrologi
Inom den dimensionella metrologin är interferometri en grundläggande metod för att mäta små förskjutningar med hög precision. En vanlig teknik som används för att mäta dessa förskjutningar är laserinterferometri, där ett stabiliserat laserljus används för att mäta avståndet genom att analysera interferensmönster.
En av de viktigaste faktorerna i interferometri är atmosfärens tillstånd, vilket kan påverka mätningarna på olika sätt. Särskilt luftens temperatur, tryck och relativ fuktighet är parametrar som måste beaktas för att undvika mätfel. Relativ luftfuktighet har visat sig vara den minst kritiska faktorn i denna avseende, medan temperaturmätningen kan vara mer problematisk på grund av effekterna från elektroniska sensorer och deras egenvärme. Tryckmätningar kan också vara svårare att upptäcka om sensorerna inte fungerar korrekt, eftersom temperaturförändringar ofta är lättare att känna för en människa än tryckförändringar.
När det gäller interferometriska system är displacement interferometers, även kända som "laserinterferometrar", bland de vanligaste verktygen som används inom metrologi. Dessa system använder ett Michelson-interferometerdesign, där ljuset reflekteras av hörnprismor, även kallade retro-reflektorer, som reflekterar ljuset i samma riktning som det kom ifrån. Detta eliminerar behovet av att justera speglar noggrant, vilket annars skulle vara nödvändigt i ett klassiskt Michelson-system.
En variant av laserinterferometrar är homodyninterferometrar. I dessa system används ett stabiliserat laserljus med en specifik våglängd, ofta med linjär eller cirkulär polarisation. Strålen delas upp i två linjärt polariserade strålar som är ortogonala mot varandra. Efter att strålarna har passerat en kvartvågsskiva (λ/4), som introducerar en fasförskjutning på 90°, återförenas de och skapar ett interferensmönster. Mätningen av förskjutningen kan därefter beräknas genom att analysera fasskillnaden mellan de två strålarna.
Ett av de största problemen med dessa system är så kallade icke-linjära fel eller interpolationsfel, som kan uppstå på grund av ojämn förstärkning eller felaktig polarisering. Dessa fel kan modelleras och kompenseras, vilket ofta kallas för Heydemann-korrigering. För att hantera dessa fel använder kommersiella system elektroniska kretsar som kan lägga till eller subtrahera en "räkning" varje gång fasen fullbordar en hel rotation.
För att erhålla ännu större precision används heterodyninterferometrar, där två lasersystem med olika våglängder används för att skapa ett frekvenssifferl. Detta gör att mätningarna kan bli mer stabila och mindre känsliga för små variationer i det optiska systemet. Genom att använda en akustisk-optisk modulator, eller Bragg-cell, kan man skapa frekvensförskjutningar på flera megahertz, vilket ger ännu bättre upplösning och noggrannhet i mätningarna.
En heterodyninterferometer fungerar genom att två linjärt polariserade ljusstrålar med olika frekvenser korsa varandra i en polarisator. Efter detta skapas ett interferensmönster som är beroende av skillnaden mellan de två frekvenserna. Detta mönster kan sedan användas för att beräkna förskjutningen mycket noggrant. I praktiken innebär denna teknik att interferensmönstren skapar en växlande signal som gör det möjligt att mäta små förskjutningar på mikrometerskala.
När dessa interferometriska system används för att mäta materialstorlekar, till exempel längdskala eller längdmått, måste man också beakta temperaturkompensationer. Eftersom måtten ofta är känsliga för temperaturvariationer, kan avvikelser i luftens temperatur leda till mätfel som kan korrigeras genom att tillämpa en systematisk temperaturjustering, vanligtvis till 20 °C.
För att säkerställa att mätningarna är så exakta som möjligt, måste också Abbe-fel och cosinusfel beaktas, särskilt när det gäller att mäta geometriska storlekar. Kommersiella system har vanligtvis funktioner som förhindrar att systemet missar viktiga räknemätningar, vilket hjälper till att förhindra felaktiga avläsningar och gör det möjligt att säkerställa noggrannheten hos mätningarna.
Det är viktigt att komma ihåg att interferometriska mätningar inte bara handlar om att samla in data utan också om att noggrant kalibrera systemet och beakta externa faktorer som kan påverka resultatet. När laserinterferometri används i praktiken måste alla parametrar beaktas för att uppnå så exakta och pålitliga mätningar som möjligt. Endast genom att förstå och kompensera för dessa faktorer kan man använda interferometri effektivt inom dimensionell metrologi.
Hur påverkar elektriska kontakter och doping egenskaperna hos 2D-semikonduktorer?
Hur man använder protokoll och generics för att skapa flexibel och återanvändbar kod i Swift
Hur gör man framgång med små, praktiska böcker och handböcker?
Hur Effektiv är Allam Cykeln i Praktiken?

Deutsch
Francais
Nederlands
Svenska
Norsk
Dansk
Suomi
Espanol
Italiano
Portugues
Magyar
Polski
Cestina
Русский