A 2D félvezető anyagok (2D SCM-ek) előállításának és jellemzésének területén számos technikát alkalmaznak, hogy az anyagok a kívánt tulajdonságokkal rendelkezzenek. Ezen módszerek közül kiemelkednek azok, amelyek lehetővé teszik az atomvastagságú lapok előállítását, hiszen a 2D anyagok egyedi tulajdonságai csak így érhetők el. A módszerek közül legelterjedtebbek az exfoliáció és a kémiai redukció, melyek kombinációja is alkalmazható. Ezen eljárások mindegyike eltérő megközelítést alkalmaz, de céljuk közös: vékony, atomáris síkú rétegek létrehozása.

Az exfoliáció egy olyan eljárás, amely az anyag bulk struktúrájából való rétegek elválasztására szolgál, így biztosítva azokat a nanométeres vastagságú anyagokat, amelyek a 2D anyagok esetében szükségesek. Az exfoliációval kapcsolatosan több módszer is létezik, mint a mechanikai exfoliáció (ME), folyadékfázisú exfoliáció (LPE), ultrahangos exfoliáció (UE), elektrokémiai exfoliáció, ioncsere alapú exfoliáció (IEE), illetve lítium-interkalált exfoliáció (LIE). Az alábbiakban a legelterjedtebb módszerek részletes ismertetése következik.

A mechanikai exfoliáció (ME), más néven „scotch tape módszer” az egyik leghíresebb és legelső, felső-lefelé irányuló megközelítés. Az eljárás során ragasztószalagot alkalmaznak, amellyel a grafit vagy egyéb, több rétegből álló anyagról fokozatosan lefejtik a vékony rétegeket, amíg végül egyetlen réteg, például a grafén, előállítható. Ezt a technikát Andre Geim és Konstantin Novoselov alkalmazta 2004-ben a grafén izolálására, melyhez egyszerű ragasztószalagot használtak. A mechanikai exfoliáció alapelve az anyag rétegeit összetartó viszonylag gyenge van der Waals-erők kihasználásán alapul. A módszer előnyei közé tartozik, hogy a legjobb minőségű, hibamentes rétegeket lehet előállítani, amelyek megőrzik az alapanyag tiszta tulajdonságait, és számos alkalmazásra alkalmasak. Az exfoliációt nem szükséges magas hőmérsékleten végezni, és a folyamat egyszerű eszközökkel is megvalósítható.

A folyadékfázisú exfoliáció (LPE) egy másik felső-lefelé irányuló eljárás, amely során a rétegelt anyagokat folyadék közegben diszpergálják, majd különböző mechanikai erőket alkalmaznak a rétegek elválasztására. Ez a módszer nagy mennyiségű, jó minőségű 2D anyagot eredményezhet. Az LPE során fontos szerepe van annak, hogy megfelelő oldószert válasszunk, amely kompatibilis a rétegezett anyaggal, és elősegíti annak exfoliációját. A folyadék közegbe diszpergált anyagokhoz különböző mechanikai erőket alkalmazhatunk, mint például ultrahangos kezelés, keverés vagy magasnyomású homogenizálás. Az ultrahangos kezelést alkalmazva például a folyadékban keletkező kavitatációs buborékok intenzív erőhatásokkal törik le az anyag rétegeit. Az LPE előnye, hogy gyorsan és nagy mennyiségben képes előállítani a kívánt anyagokat, miközben megőrzi azok kívánt tulajdonságait. Az oldószer kiválasztása kulcsfontosságú, mivel befolyásolhatja a diszperzió stabilitását és a kinyert anyagok minőségét.

Az ultrahangos exfoliáció (UE) a legújabb fejlesztések közé tartozik, és az ultrahangos hullámokat használja a rétegek szétszakítására. A módszer során a diszpergált bulk anyagot magas frekvenciájú hanghullámokkal kezelik, amelyek során a keletkező kavitatációs buborékok intenzív hő- és nyomás hatásokat generálnak. Az így keletkező shear erők és sokkoló hullámok segítenek az anyag vékony, atomtömör rétegekre történő szétválasztásában. Az ultrahangos exfoliáció előnye, hogy gyorsan és hatékonyan lehet nagy mennyiségben előállítani 2D anyagokat anélkül, hogy magas hőmérsékletre lenne szükség, ami megőrzi a szenzitív anyagok tulajdonságait.

Az ioncsere alapú exfoliáció (IEE) egy olyan technika, amely ioncserét használ a rétegek elválasztására. Az ionok cseréje során a rétegelt anyagok közötti rétegekben található ionokat egy másik ioncsoport váltja ki, aminek következtében az interkalációs tér kitágul, és lehetővé válik a rétegek elválasztása. Az IEE módszer különösen érdekes, mert segítségével kontrollált módon készíthetők magas minőségű nanosheets-ek, amelyek különleges tulajdonságokkal rendelkeznek. Az ioncsere történhet közvetlenül, interkalációval vagy in situ ioncsere révén, így lehetőség van a kívánt szerkezeti tulajdonságok elérésére.

A 2D anyagok előállításakor minden módszernek megvannak a maga előnyei és korlátai. A megfelelő módszer kiválasztása függ az alkalmazott anyagtól, a kívánt termék minőségétől, a gyártás költségétől és a környezeti tényezőktől is. Az exfoliációs eljárások mellett más technikák, mint például a kémiai redukciós módszerek is fontos szerepet játszanak az ipari alkalmazásokban, különösen azoknál az anyagoknál, amelyeknek nagyobb szerkezeti integritásra van szükségük a felhasználás előtt.

A 2D anyagok kutatása és alkalmazása az elektronikai ipar, az energetika, valamint a nanotechnológia terén jelentős előrelépéseket hozott. Azonban, hogy ezek az anyagok széleskörűen alkalmazhatóak legyenek, a gyártásukat lehetővé tevő technológiáknak folyamatosan fejlődniük kell, figyelembe véve a környezeti hatásokat, a költséghatékonyságot és az anyagok minőségét.

Hogyan befolyásolják a kétdimenziós félvezetők hőmérsékleti és mechanikai tulajdonságai az elektronikai alkalmazásokat?

A kétdimenziós félvezető anyagok (2D-SCM) kutatásának egyik legfontosabb területe a hő- és mechanikai tulajdonságok vizsgálata. Ezek a tulajdonságok kulcsszerepet játszanak a flexibilis elektronikák és a viselhető technológiák fejlesztésében, mivel a különböző 2D félvezetők eltérő viselkedést mutatnak az elektromos, hő- és mechanikai terhelés alatt. Az ilyen anyagok kutatásának előnyei különösen akkor válnak nyilvánvalóvá, amikor figyelembe vesszük, hogy a hagyományos, háromdimenziós félvezetőkhöz képest az 2D-s anyagok egyedi jellemzőkkel rendelkeznek, amelyek az ipari alkalmazások számára új lehetőségeket kínálnak.

Az 2D félvezetők különböző hővezető tulajdonságai az anyagok atomos szerkezetétől függenek. A tranzíciós fém-diklóridek (TMD) például eltérnek a grafén hővezető képességétől, mivel rövidebb phonon szabad útvonalakkal rendelkeznek, ami alacsonyabb hővezető képességet eredményez. Ezen anyagok hővezető képessége nem függ a mérettől vagy a durvaságtól, mivel az egyes rétegek közötti phononok mozgása jelentős hatással van a hőátvitelre. A MoS2 és a WSe2 típusú anyagok különösen érdekesek ezen a téren, mivel a kutatások azt mutatják, hogy ezek az anyagok képesek jelentős mértékben javítani a hővezetési képességüket, ha az isotópikus hibákat helyesen kezeljük. Az ilyen típusú anyagok tehát lehetőséget kínálnak arra, hogy a jövőben hűtési rendszerekben vagy energiatárolókban alkalmazzák őket, ahol alacsonyabb hővezető képesség szükséges.

A hővezető tulajdonságok és a rétegvastagság közötti kapcsolat is kulcsfontosságú. A kutatások azt mutatják, hogy bár elméleti modellekben erős összefüggést figyelhetünk meg a rétegek számának és a hővezető képesség változása között, a kísérleti adatok gyakran gyengébb kapcsolatot jeleznek. Azonban egyes anyagok, mint a Bi2Te3, bulk-szerű hővezető képességet mutatnak 5 nm-es vastagságú rétegekben, míg a későbbi vizsgálatok egyértelműen megerősítették, hogy a vastagság növelése révén nő a hővezető képesség.

Az N-graphdiyne anyagok például különleges hőstabilitást mutatnak, mivel az ilyen anyagok képesek akár 2000 K hőmérsékleten is megtartani szerkezeti integritásukat. Ez az anyag különösen érdekes lehet a nagy hőmérsékletű alkalmazásokban, mint például a nanotechnológiai eszközökben és a hőmérsékletet érzékelő rendszerekben.

A mechanikai tulajdonságok vizsgálata szintén kulcsfontosságú, mivel a flexibilis elektronikai alkalmazások, például viselhető eszközök és rugalmas kijelzők, folyamatosan növekvő igényt támasztanak az anyagok mechanikai stabilitásával és hajlékonyságával szemben. A 2D félvezető anyagok, mint például a MXenes, amelyeket felületmodulációval és funkcionálással alakíthatunk át félvezetővé, figyelemre méltó mechanikai tulajdonságokkal rendelkeznek. A kutatások azt mutatják, hogy az MXenes felületének módosítása nemcsak az elektronikai tulajdonságokat javítja, hanem a mechanikai stabilitást is növeli, lehetővé téve számukra, hogy különböző terhelési környezetekben alkalmazzák őket. Az ilyen típusú anyagok, mint a Sc2C, képesek az elektronikus tulajdonságaik és mechanikai viselkedésük módosítására, ha megfelelően felületük modifikálják.

A TMD-ek mechanikai tulajdonságait is alaposan megvizsgálták, különösen a MoS2 esetében, amelynek Young-modulusa különbözik az egy- és két rétegű állapotokban. A MoS2 monolayer Young-modulusa 180 ± 60 N/m körül van, míg a két rétegű MoS2 esetében 260 ± 70 N/m-ra emelkedik. Az atomos erőmérnöki módszerek és a polidimetilsziloxános (PDMS) technológia alkalmazásával lehetőség nyílik az ilyen anyagok nagyobb felületekhez történő növesztésére, ami elengedhetetlen a gyártási költségek csökkentéséhez és a termelési folyamatok optimalizálásához.

A mechanikai stabilitás, különösen a rétegközi kölcsönhatások és az anyagok modulálása révén, alapvetően befolyásolják a 2D-s félvezetők viselkedését. A TMD-k alkalmazásával kapcsolatos kutatások segíthetnek abban, hogy ezen anyagok erősségeit és gyengeségeit jobban megértsük, és hogy olyan új technológiai alkalmazások jöjjenek létre, amelyek kihasználják az anyagok rendkívüli hajlékonyságát és mechanikai stabilitását.

A mechanikai és hőmérsékleti tulajdonságok vizsgálata elengedhetetlen a jövő technológiai fejlődésében, különösen a flexibili elektronikus eszközök és a viselhető technológia terén. Mivel az ilyen anyagok változó tulajdonságai a különböző környezeti tényezőktől függenek, fontos, hogy a kutatók és mérnökök folyamatosan figyeljék a legújabb felfedezéseket és alkalmazzák azokat a gyakorlati problémák megoldásában.

Milyen szerepe van az excitonoknak és trionoknak a kétdimenziós félvezetők optoelektronikai alkalmazásaiban?

A két dimenziós (2D) félvezetők egyedülálló tulajdonságai, mint például az excitonok és trionok viselkedése, kulcsszerepet játszanak a nemlineáris kvantum optoelektronikában, különösen az átmeneti fém-dikalkogén (TMDC) anyagok esetében. Az excitonok olyan kötött állapotok, amelyek az elektronok és a lyukak közötti kölcsönhatás eredményeként alakulnak ki. A trionok ezeknek az excitonoknak egy töltéssel rendelkező változatai, amelyek egy töltött részecskét – egy elektront vagy egy lyukat – tartalmaznak. A trionok és az excitonok közötti kötési energia körülbelül 17 meV, ami meglehetősen közel áll a teoretikusan előre jelzett biexciton kötési energiához.

A kutatók hatékony elektrosztatikus vezérlés segítségével képesek voltak a hole-dopingról electron-dopingra váltani, ezzel részletesebb információkat nyerve a XX és XX− természetéről. Ennek köszönhetően a kutatók arra a következtetésre jutottak, hogy a biexciton konfigurációja egy világos és egy sötét excitonból áll, figyelembe véve a völgy polarizációját és az inverz fényemissziós viselkedést. E fejlődés az excitonok és trionok viselkedésének jobb megértésében alapvető fontosságú volt a nemlineáris kvantum optoelektronikai alkalmazások szempontjából.

A van der Waals heterostruktúrák, amelyek atomvékony 2D anyagok rétegzésével jönnek létre, új lehetőségeket kínálnak az excitonok és trionok dinamikájának vizsgálatára. Az interréteg-excitonsok, amelyek két réteg közötti kölcsönhatás eredményeként keletkeznek, szintén különleges tulajdonságokkal bírnak. Az ilyen heterostruktúrákban a rétegek közötti gyors töltésátvitel, valamint a spin- és völgypolarizációk hosszú élettartama jellemző, amelyek további lehetőségeket kínálnak az optoelektronikai alkalmazásokban.

A moiré szuperhálók, amelyek a rétegek elforgatásával vagy rácsmérési eltérésekkel jönnek létre, szintén alapvető szerepet játszanak az elektronikus sávstruktúra és optikai tulajdonságok manipulálásában. Az excitonok viselkedése ebben a környezetben különösen érdekes, mivel az anyagok közötti kölcsönhatások és az elektronok völgy- és spinállapota mind befolyásolják a fényemissziót és -abszorpciót. Az ilyen anyagok optikai tulajdonságainak módosításával a kutatók új lehetőségeket fedezhetnek fel az optoelektronikai eszközök fejlesztésében.

Fontos megérteni, hogy a völgy-polarizáció és a völgy-kapcsolt excitonok szerepe kulcsfontosságú a 2D anyagok optikai viselkedésének teljes megértésében. A völgypolarizáció a 2D anyagok szimmetriájának következménye, és fontos szerepet játszik az elektronok és lyukak közötti kölcsönhatások szabályozásában. Az ilyen típusú elektronikai rendszerek a fény és az anyag közötti kölcsönhatásokat új szinteken képesek manipulálni, ami lehetővé teszi a még nagyobb érzékenységet és pontosságot az optoelektronikai eszközök tervezésében.

Az ilyen heterostruktúrák tanulmányozása, amelyek két különböző 2D anyag kombinációjával jönnek létre, új távlatokat nyithat a fény és az anyag kölcsönhatásainak terén. A különböző anyagok optikai és elektromos tulajdonságainak manipulálása, például az elforgatás szögének változtatásával, alapvetően új technológiai lehetőségeket kínálhat a jövő optoelektronikai eszközeihez.

Milyen kihívásokkal néz szembe a félvezető ipar a jövőbeni chipgyártási technológiák fejlesztésében?

A félvezetők gyártási folyamata rendkívül összetett és precíz műveletek sorozata, melyek során a nyers alapanyagoktól kezdve egészen a kész chipek csomagolásáig számos lépést kell végrehajtani. Az iparág folyamatosan fejlődik, hogy kielégítse a technológiai igények növekvő kihívásait, különösen az integrált áramkörök (IC) gyártásában, amelyek minden modern elektronikai eszköz alapját képezik. Az alapvető gyártási lépések közé tartozik a szilícium egykristályok előállítása, amelyekből a waferek készülnek, majd a félvezető eszközök és áramkörök létrehozása következik. Az új technológiai lehetőségek folyamatosan csökkentik a tranzisztorok méretét és növelik az integrálhatóságot, ahogy a Moore-törvény előrejelzi, hogy a tranzisztorok mérete és az IC-k sűrűsége két évente majdnem megduplázódik.

A szilícium alapú félvezetők gyártása során az első lépés a polikristályos szilícium egykristállyá való átalakítása. Ehhez két fő technika áll rendelkezésre: a Czochralski- és a Float Zone-technika. A Czochralski-módszer (CZ) a legelterjedtebb, amely során egy szál szilíciumot olvasztanak, majd a kristály növekvő folyamatában egy egyedi egykristályos ingotot hoznak létre. A Float Zone-módszer a szilícium olvasztásával hasonló célra szolgál, de anélkül, hogy egy külső tartályt alkalmaznának, lehetővé téve a tisztább és egyenletesebb kristályok kialakulását.

Miután a szilícium egykristályos ingotot előállították, következik a waferek gyártása. Ezt ipari minőségű gyémántlapos fűrészekkel végzik, amelyekkel az ingotokat az előírt vastagságra vágják. Az ingot végét eltávolítják, és a felületét simítják, hogy egyenletes átmérőt biztosítsanak. Ezt követően a wafereket további ellenőrzéseknek vetik alá, például a négypólusú mérési technikával végzett ellenállás- és X-ray diffúziós orientációs tesztekkel.

A következő lépés az integrált áramkörök (IC) gyártása. Az IC-k gyártása során a legfontosabb műveletek közé tartozik a tervezés, maszkolás, gyártás, tesztelés, minőségellenőrzés, integráció, csomagolás és végső tesztelés. Az IC gyártási folyamatát a fejlett fényképezési, maratási és filmes bevonási technológiák támogatják, amelyek lehetővé teszik a tranzisztorok hatékony előállítását és a minőségi ellenőrzést.

Az egyre kisebb tranzisztorok és az egyre sűrűbb integrálás megvalósítása érdekében az iparág folyamatosan fejlődik. A legújabb trendek között szerepelnek a nanométeres technológiák, amelyek a hagyományos szilícium alapú félvezetőket új dimenziókba emelik. A szub-10 nm-es technológiák, mint például a finFET és a gate-all-around tranzisztorok, már a legmodernebb lapkákban is megtalálhatók. Az új típusú tranzisztorok, mint például a GaN nanohuzalos FET-ek, a nagy teljesítményű alkalmazások számára nyújtanak új lehetőségeket.

A 7 nm-es technológia alkalmazása már elterjedt, de az iparági szereplők folyamatosan keresnek új módszereket a még kisebb tranzisztorok és magasabb teljesítmény elérésére. A 5 nm-es technológia lehetővé teszi több mint 150 millió tranzisztor elhelyezését egy négyzetmilliméteres területen, míg a 3 nm-es technológia esetén már a 2 nm-es technológiai csomópontokhoz vezethet, amelyek hamarosan elérhetők lesznek.

A jövőbeli fejlesztések nemcsak a tranzisztorok méretének csökkentését célozzák, hanem az új típusú félvezető anyagok, például a 2D anyagok alkalmazásával is növelhetik az integrációs sűrűséget. A 2D félvezető anyagok, mint például a grafén vagy a molibdén-diszulfid, új lehetőségeket kínálnak az elektronikai eszközök hatékonyságának növelésére. A 2D anyagok integrálása monolitikus 3D architektúrákba, valamint a nanoátvezetők és az alsó oldali interkonektek alkalmazása lehetőséget ad a még kompaktabb és energiatakarékosabb chipek előállítására.

Fontos megjegyezni, hogy a chipgyártás nem csupán technikai kihívás, hanem gazdasági is. A fejlett technológiák alkalmazása rendkívül drága, és csak a legnagyobb gyártók képesek megfizetni az ilyen fejlesztéseket. Az új chipgyártási technológiákra való átállás jelentős költségeket von maga után, ami a kisebb cégek számára akadályt jelenthet. Az iparági szereplők közötti verseny élesedik, miközben a chipgyártás globális piaca egyre inkább koncentrálódik a néhány nagy szereplő kezébe, mint például az Intel, a TSMC és a Samsung.